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BibTeX
Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik
Schift, Helmut
1994
Signatur:
DQ1905
Details
Autor(en) / Beteiligte
Schift, Helmut
Titel
Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik
Erscheinungsjahr
1994
Beschreibungen/Notizen
Karlsruhe, Univ., Diss., 1994
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 636839107, 636839107
Titel-ID: 990006814510106463
Format
III, 118 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZHU
Schlagworte
Optisches Bauelement
,
Mikrooptik
,
Polymethylmethacrylate
,
LIGA-Verfahren
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