Details

Autor(en) / Beteiligte
Schift, Helmut
Titel
Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik
Erscheinungsjahr
1994
Beschreibungen/Notizen
  • Karlsruhe, Univ., Diss., 1994
Sprache
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 636839107
Titel-ID: 990006814510106463
Format
III, 118 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZHU
Schlagworte
Optisches Bauelement, Mikrooptik, Polymethylmethacrylate, LIGA-Verfahren

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