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BibTeX
Mikrosystemtechnik auf Silizium
Hilleringmann, Ulrich
1995
Signatur:
YFB2784
Details
Autor(en) / Beteiligte
Hilleringmann, Ulrich
Titel
Mikrosystemtechnik auf Silizium
Ort / Verlag
Stuttgart : Teubner
Erscheinungsjahr
1995
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3519061589
OCLC-Nummer: 75581257, 75581257
Titel-ID: 990006805800106463
Format
VIII, 229 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Integrierte Optoelektronik
,
CMOS
,
Siliciumbauelement
,
Mikrosystemtechnik
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