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Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt : 5574 (Alle Bände)
Als Ms. gedr, 1995
Signatur: DQ1901

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
Ist Teil von
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
  • Zsfassung in dt. und engl. Sprache
  • Karlsruhe, Univ., Diss., 1995 von Uwe Köhler
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1067976964, 1067976964
Titel-ID: 990006768470106463
Format
52 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKS

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