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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
IPA-IAO-Forschung und -Praxis : 202 (Alle Bände)
1994
Signatur: ZKQ1655

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Ist Teil von
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1994
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 3540585117, 0387585117
OCLC-Nummer: 1072663055, 1072663055
Titel-ID: 990006650310106463
Format
126 S. : graph. Darst.
Systemstelle
ZKQ
Schlagworte
PVD-Verfahren, Prozessoptimierung, Ionenbestrahlung

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