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Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung. 12. München, 25. und 26. Oktober 1995
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile (Alle Bände), VDI-Berichte : 1243 (Alle Bände)
[Nicht red. Ms.-Dr.], 1995
Signatur: M40542

Details

Titel
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung. 12. München, 25. und 26. Oktober 1995
Ist Teil von
Auflage
[Nicht red. Ms.-Dr.]
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1995
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Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 318091243X
OCLC-Nummer: 246678359, 246678359
Titel-ID: 990006643930106463
Format
167 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
WAW
Schlagworte
Integrierte Schaltung, Maskentechnik

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