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Computational modeling in semiconductor processing
The Artech House materials science library
1995
Signatur: UIU3688

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Computational modeling in semiconductor processing
Ist Teil von
  • The Artech House materials science library
Ort / Verlag
Boston [i.e. Norwood, Mass.] [ u.a.] : Artech House
Erscheinungsjahr
1995
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0890067074
OCLC-Nummer: 636733700, 636733700
Titel-ID: 990006634730106463
Format
X, 363 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
Systemstelle
YET, UIU
Schlagworte
Halbleitertechnologie, Computersimulation

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