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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Papers from the national symposium of the American Vacuum Society. 43. 14 - 18 October 1996, Philadelphia Convention Center, Philadelphia, Pennsylvania, Pt. 2. Joint sessions; manufacturing science and technology ; nanometer-scale science and technology; surface science; flat panel displays; magnetic surfaces and interfaces; microelectrical mechanical systems
Ist Teil von
Ort / Verlag
New York, NY : American Inst. of Physics
Erscheinungsjahr
1997
Sprache
Englisch
Identifikatoren
Titel-ID: 990006590330106463
Format
S. 1119 - 1799 : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
67

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