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Papers from the national symposium of the American Vacuum Society. 40. 15 - 19 November 1993, Orange County Convention Center, Orlando, Florida, Pt. 1. History; Electronic materials; Plasma science; Thin film; Vacuum metallurgy; Vacuum technology
Papers from the national symposium of the American Vacuum Society (Alle Bände), Journal of vacuum science & technology : A, Vacuum, surfaces, and films : 12,4,1 (Alle Bände)
1994
Signatur: 67j4-a

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Papers from the national symposium of the American Vacuum Society. 40. 15 - 19 November 1993, Orange County Convention Center, Orlando, Florida, Pt. 1. History; Electronic materials; Plasma science; Thin film; Vacuum metallurgy; Vacuum technology
Ist Teil von
Ort / Verlag
New York, NY : American Inst. of Physics
Erscheinungsjahr
1994
Sprache
Englisch
Identifikatoren
Titel-ID: 990006590260106463
Format
43 S., S. 895 - 1786 : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
67

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