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BibTeX
Plasma properties, deposition and etching
Materials science forum : 140,142
(
Alle Bände
)
Pouch, John J
[Herausgeber]
1993
Signatur:
UIM1628-140/142
Details
Autor(en) / Beteiligte
Pouch, John J
[Herausgeber]
Titel
Plasma properties, deposition and etching
Ist Teil von
Materials science forum : 140,142
(
Alle Bände
)
Ort / Verlag
Aedermannsdorf [u.a.] : Trans Tech Publ.
Erscheinungsjahr
1993
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Inhaltsverzeichnis
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 087849670X
OCLC-Nummer: 831404923, 831404923
Titel-ID: 990006473700106463
Format
X, 742 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIM
Schlagworte
Plasmatechnik
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