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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Vakuumbeschichtung. 3. Anlagenautomatisierung - Meß- und Analysentechnik / Hrsg.: Gerhard Kienel
Ist Teil von
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1994
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3184013138, 9783642635113, 3540622691
OCLC-Nummer: 263609660, 263609660
Titel-ID: 990006339240106463
Format
XII, 368 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKO

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