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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Vakuumbeschichtung. 4. Anwendungen : Teil 1: Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen / Hrsg.: Gerhard Kienel
Ist Teil von
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1993
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3184013146, 3540622748
OCLC-Nummer: 915734554, 915734554
Titel-ID: 990006339220106463
Format
XI, 383 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKO

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