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BibTeX
Polysilizium-Dünnfilmwiderstände für Halbleiterdrucksensoren
Schäfer, Horst
1990
Signatur:
D5781
Details
Autor(en) / Beteiligte
Schäfer, Horst
Titel
Polysilizium-Dünnfilmwiderstände für Halbleiterdrucksensoren
Erscheinungsjahr
1990
Beschreibungen/Notizen
Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1990
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 636132895, 636132895
Titel-ID: 990005887020106463
Format
167 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIY
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