Details

Autor(en) / Beteiligte
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Titel
Micro-Electro-Mechanical Systems : proceedings ; an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Nara, Japan 30 January - 2 February 1991
Erscheinungsort / Verlag
New York, NY
Erscheinungsjahr
1991
Sprache
Identifikatoren
ISBN: 0879426411
ISBN: 087942642X
OCLC-Nummer: 246730638
Titel-ID: 990005876020106463
Format
XIV, 288 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
WFL, XXT, YGY, XVI
Schlagworte
Mikromechanik, Elektromechanik

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