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BibTeX
Dry etching for VLSI
Updates in applied physics and electrical technology
Roosmalen, Alfred J. <<van>>
Baggerman, J. A
Brader, S. J
1991
Signatur:
YGY2018
Details
Autor(en) / Beteiligte
Roosmalen, Alfred J. <<van>>
Baggerman, J. A
Brader, S. J
Titel
Dry etching for VLSI
Ist Teil von
Updates in applied physics and electrical technology
Ort / Verlag
New York [u.a.] : Plenum
Erscheinungsjahr
1991
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 0306438356
OCLC-Nummer: 729636204, 729636204
Titel-ID: 990005836540106463
Format
XVII, 237 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKP
,
UIY
,
YFC
,
YGY
Schlagworte
VLSI
,
Trockenätzen
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