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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Defect control in semiconductors : proceedings of the International Conference on the Science and Technology of Defect Control in Semiconductors ; the Yokohama 21. Century Forum, Yokohama, Japan, September 17 - 22, 1989. 2
Ist Teil von
Ort / Verlag
Amsterdam [u.a.] : North-Holland Publ.
Erscheinungsjahr
1990
Sprache
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1070096129, 1070096129
Titel-ID: 990005488600106463
Format
XXVII, S. 975 - 1746 S. : graph. Darst.
Systemstelle
XVI

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