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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
SEM microcharacterization of semiconductors
Ist Teil von
Ort / Verlag
London [u.a.] : Academic Pr.
Erscheinungsjahr
1989
Sprache
Identifikatoren
ISBN: 0123538556
OCLC-Nummer: 246725687, 246725687
Titel-ID: 990005413560106463
Format
XIII, 452 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIU, YFB
Schlagworte
Halbleiteroberfläche, Rasterelektronenmikroskopie

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