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Untersuchung der elektrischen Eigenschaften dünner Schichten großer Versetzungsdichte in Silizium mit einem Rasterelektronenmikroskop
1990
Signatur: D2477

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Untersuchung der elektrischen Eigenschaften dünner Schichten großer Versetzungsdichte in Silizium mit einem Rasterelektronenmikroskop
Erscheinungsjahr
1990
Beschreibungen/Notizen
  • Köln, Univ., Diss., 1990
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 889632475, 889632475
Titel-ID: 990005349740106463
Format
101 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UFF

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