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Untersuchungen zur Ionenstrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV-Ni-Implantation in Silizium
1989
Signatur: D2760

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Untersuchungen zur Ionenstrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV-Ni-Implantation in Silizium
Erscheinungsjahr
1989
Beschreibungen/Notizen
  • Dortmund, Univ., Diss., 1989
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 636214261, 636214261
Titel-ID: 990005349700106463
Format
173, [6] S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.
Systemstelle
UIQ

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