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Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
1988
Signatur: D1752

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
Erscheinungsjahr
1988
Beschreibungen/Notizen
  • Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1989
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1046244605, 1046244605
Titel-ID: 990005034320106463
Format
122 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
Systemstelle
YGY, YEM

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