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Optical microlithography. 1. Technology for the mid-1980s ; March 31 - April 1, 1982, Santa Clara, California
Optical microlithography (Alle Bände), Proceedings of SPIE : 334 (Alle Bände)
1982
Signatur: UAL6207-1

Details

Titel
Optical microlithography. 1. Technology for the mid-1980s ; March 31 - April 1, 1982, Santa Clara, California
Ist Teil von
Ort / Verlag
Bellingham, Wash.
Erscheinungsjahr
1982
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0892523697
Titel-ID: 990004504630106463
Format
VIII, 265 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UAL

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