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Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9 : 62 (Alle Bände)
Als Ms. gedr, 1986
Signatur: XVW2188-62

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme
Ist Teil von
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1986
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3181462098
OCLC-Nummer: 917015943, 917015943
Titel-ID: 990004208010106463
Format
175 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XVW
Schlagworte
Silicium, Dünne Schicht, Polykristall, Elektrische Leitfähigkeit, Messung

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