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Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9 : 62
(
Alle Bände
)
Podbielski, Rainer
Als Ms. gedr, 1986
Signatur:
XVW2188-62
Details
Autor(en) / Beteiligte
Podbielski, Rainer
Titel
Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme
Ist Teil von
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9 : 62
(
Alle Bände
)
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1986
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3181462098
OCLC-Nummer: 917015943, 917015943
Titel-ID: 990004208010106463
Format
175 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XVW
Schlagworte
Silicium
,
Dünne Schicht
,
Polykristall
,
Elektrische Leitfähigkeit
,
Messung
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