Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Integrated circuit fabrication technology
- Ort / Verlag
- New York [u.a.] : McGraw-Hill
- Erscheinungsjahr
- 1982
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 0070192383OCLC-Nummer: 1067610936, 1067610936Titel-ID: 990004134250106463
- Format
- XVII, 405 S. : Ill., graph. Darst.
- Systemstelle
- YGY
- Schlagworte
- Integrierte Schaltung, Technologie, Technik, Entwurf, Fertigung