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Details

Titel
Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung. 8. München, 14. November 1991
Ist Teil von
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1991
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Sprache
Identifikatoren
ISBN: 3180909358
OCLC-Nummer: 722297788, 722297788
Titel-ID: 990002978320106463
Format
137 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGY, YFB, XVI
Schlagworte
Maske, Mikroelektronik-Baustein, Maskentechnik, Integrierte Schaltung

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