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Sputtering by particle bombardment. 1. Physical sputtering of single-element solids
Sputtering by particle bombardment (Alle Bände), Topics in applied physics : 47 (Alle Bände)
1981
Signatur: UBX1065-47

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Sputtering by particle bombardment. 1. Physical sputtering of single-element solids
Ist Teil von
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1981
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540105212, 0387105212
OCLC-Nummer: 310856723, 310856723
Titel-ID: 990002826590106463
Format
X, 281 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UBX
Schlagworte
Sputtern, Zerstäubung

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