Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Ion beams : with applications to ion implantation
- Ist Teil von
- A Wiley-Interscience publication
- Ort / Verlag
- New York [u.a.] : Wiley
- Erscheinungsjahr
- 1973
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 0471950009OCLC-Nummer: 1069792388, 1069792388Titel-ID: 990001332650106463
- Format
- XII, 500 S. : Ill., graph. Darst.; 2 Beil.
- Systemstelle
- UFK
- Schlagworte
- Ionenimplantation, Ionenstrahl