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Antistick postpassivation of high-aspect ratio silicon molds fabricated by deep-reactive ion etching
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IEEE photonics technology letters, 2015-06, Vol.27 (11), p.1169-1172
2015
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IEEE transactions on industry applications, 2005-09, Vol.41 (5), p.1142-1148
2005
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2018 IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems (IROS), 2018, p.4794-4801
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