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Sensors and actuators. A. Physical., 2008-11, Vol.148 (1), p.201-210
2008
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IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs, 2002, p.195-196
2002


IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2005, 2005, p.59-60
2005
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ThemaPhysics
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