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Micromachines (Basel), 2023-04, Vol.14 (5), p.974
2023
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Microelectronic engineering, 1998-08, Vol.43-44, p.587-598
1998
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Advanced materials (Weinheim), 2001-07, Vol.13 (12-13), p.985-988
2001
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2008 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs and Nanophotonics, 2008, p.172-173
2008


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