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2017
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2016
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2017
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2020
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Coatings (Basel), 2021-10, Vol.11 (10), p.1240
2021
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2014
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2020
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2018
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2022
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2020
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2020
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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73, p.196-201
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2014
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Journal of microelectromechanical systems, 2011-08, Vol.20 (4), p.794-796
2011
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Journal of physics. Conference series, 2023-06, Vol.2526 (1), p.12026
2023
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Materials research express, 2016-05, Vol.3 (5), p.56104-056104
2016
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Processes, 2022-02, Vol.10 (2), p.342
2022
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Coatings (Basel), 2018, Vol.8 (9), p.312
2018
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