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Nanophotonics (Berlin, Germany), 2020-10, Vol.9 (13), p.4173-4181
2020
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2005-02, Vol.11 (2-3), p.186-193
2005
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Journal of micromechanics and microengineering, 1998-06, Vol.8 (2), p.134-137
1998
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Journal of micromechanics and microengineering, 1998-06, Vol.8 (2), p.108-110, Article 108
1998
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Microelectronics and reliability, 1998-06, Vol.38 (6), p.1221-1226
1998
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