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IEEE sensors journal, 2024-04, Vol.24 (7), p.10172-10179
2024
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Journal of materials science, 2019-07, Vol.54 (14), p.10548-10559
2019
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Journal of micromechanics and microengineering, 2012-01, Vol.22 (1), p.15002-9
2012
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Microelectronic engineering, 2014-02, Vol.114, p.7-11
2014
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Journal of microelectromechanical systems, 2001-06, Vol.10 (2), p.197-204
2001
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Sensors and actuators. A, Physical, 2002, Vol.95 (2), p.100-107
2002
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IEEE transactions on advanced packaging, 1999-05, Vol.22 (2), p.189-199
1999
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