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2017
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Journal of microelectromechanical systems, 2015-04, Vol.24 (2), p.395-403
2015
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Sensors and actuators. B, Chemical, 2014-06, Vol.196, p.670-675
2014
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Materials letters, 2013-11, Vol.110, p.122-126
2013
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2014-05, Vol.32 (3)
2014
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Optics express, 2015-06, Vol.23 (11), p.14876-14896
2015
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Journal of micromechanics and microengineering, 2001-01, Vol.11 (1), p.48-54
2001
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Acta mechanica Sinica, 2004-04, Vol.20 (2), p.185-191
2004
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2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013, p.120-123
2013
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2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013, p.2221-2224
2013
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2007 7th IEEE Conference on Nanotechnology (IEEE NANO), 2007, p.809-812
2007
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