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Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system
Journal of physics. D, Applied physics, 2018-01, Vol.51 (2), p.25205
2018
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Experimental verification of deposition rate increase, with maintained high ionized flux fraction, by shortening the HiPIMS pulse
Plasma sources science & technology, 2021-04, Vol.30 (4), p.45006
2021
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Temporal, spatial and spectroscopic study of plasma emission on Cu target in bipolar HiPIMS
Plasma sources science & technology, 2023-07, Vol.32 (7), p.75019
2023
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Modeling of high power impulse magnetron sputtering discharges with graphite target
Plasma sources science & technology, 2021-11, Vol.30 (11), p.115017
2021
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In-situ impedance spectroscopy of a plasma-semiconductor thin film system during reactive sputter deposition
Journal of applied physics, 2019-07, Vol.126 (2)
2019
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Floating harmonic probe for diagnostic of pulsed discharges
Surface & coatings technology, 2019-01, Vol.357, p.879-885
2019
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Plasma Diagnostics in Reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering System Working in Ar + H2S Gas Mixture
Coatings (Basel), 2020-03, Vol.10 (3), p.246
2020
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