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IEEE transactions on applied superconductivity, 2013-06, Vol.23 (3), p.7500404-7500404
2013
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Journal of micromechanics and microengineering, 2009-03, Vol.19 (3), p.035003-035003 (8)
2009
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Microelectronic engineering, 1999-05, Vol.46 (1-4), p.435-438
1999
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Microelectronic engineering, 1998-03, Vol.41, p.567-570
1998
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1997-11, Vol.15 (6), p.2676-2681
1997
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2015-10, Vol.14 (4), p.44506
2015
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Solar energy materials and solar cells, 2001-02, Vol.66 (1), p.353-359
2001
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