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25th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC 2014), 2014, p.245-247
2014
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2013
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The 17th Annual SEMI/IEEE ASMC 2006 Conference, 2006, p.301-305
2006
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2018 29th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2018, p.155-158
2018
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2018 29th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2018, p.163-165
2018
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2008 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2008, p.6-10
2008
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The 17th Annual SEMI/IEEE ASMC 2006 Conference, 2006, p.289-291
2006
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The 17th Annual SEMI/IEEE ASMC 2006 Conference, 2006, p.206-210
2006
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2007-05, Vol.20 (2), p.101-106
2007
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2007, Vol.20 (2), p.101-106
2007
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International Electron Devices Meeting. Technical Digest (Cat. No.01CH37224), 2001, p.19.5.1-19.5.4
2001
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