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Journal of micromechanics and microengineering, 2006-10, Vol.16 (10), p.2053-2059
2006
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Journal of microelectromechanical systems, 2007-12, Vol.16 (6), p.1472-1481
2007
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Sensors and actuators. A. Physical., 2004-09, Vol.114 (2), p.347-354
2004
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Journal of micromechanics and microengineering, 2008-02, Vol.18 (2), p.025030-025030 (11)
2008
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2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2007, p.537-540
2007
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2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2007, p.31-34
2007
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The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05, 2005, Vol.1, p.89-92 Vol. 1
2005
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