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Microelectronic engineering, 2019-05, Vol.213, p.55-61
2019
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Sensors and actuators. A. Physical., 2020-11, Vol.315, p.112260, Article 112260
2020
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2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2017, p.825-828
2017
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2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020, p.357-360
2020
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2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2019, p.87-90
2019
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2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2017, p.1056-1059
2017
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Chinese education and society, 2012-09, Vol.45 (5-6), p.31-44
2012
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