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2016
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Vacuum, 2018-07, Vol.153, p.195-203
2018
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IEEE transactions on plasma science, 2013-08, Vol.41 (8), p.1819-1829
2013
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Surface & coatings technology, 2013-08, Vol.228, p.S424-S427
2013
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Micromachines (Basel), 2021-05, Vol.12 (6), p.599
2021
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Surface & coatings technology, 2013-08, Vol.229, p.46-49
2013
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Vacuum, 2013-03, Vol.89, p.261-266
2013
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Surface & coatings technology, 2014-07, Vol.250, p.26-31
2014
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IEEE transactions on plasma science, 2014-10, Vol.42 (10), p.2786-2787
2014
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IEEE transactions on plasma science, 2013-10, Vol.41 (10), p.3012-3020
2013
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2009-05, Vol.267 (8-9), p.1701-1704
2009
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Surface & coatings technology, 2011-11, Vol.206 (5), p.938-942
2011
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Thin solid films, 2001-06, Vol.388 (1), p.277-282
2001
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Japanese Journal of Applied Physics, 2015-01, Vol.54 (1S), p.1-1-01AA04-5
2015
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IEEE transactions on plasma science, 2011-11, Vol.39 (11), p.3085-3094
2011
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IEEE transactions on plasma science, 2012-07, Vol.40 (7), p.1801-1808
2012
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Applied surface science, 2011-03, Vol.257 (10), p.4738-4742
2011
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IEEJ transactions on electrical and electronic engineering, 2008-07, Vol.3 (4), p.365-369
2008
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IEEE transactions on plasma science, 2011-11, Vol.39 (11), p.3125-3132
2011
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IEEE transactions on dielectrics and electrical insulation, 2009-06, Vol.16 (3), p.778-784
2009
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Vacuum, 2020-05, Vol.175, p.109283, Article 109283
2020
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IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials, 2007, Vol.127(1), pp.7-8
2007
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Surface & coatings technology, 2005-06, Vol.196 (1), p.81-84
2005
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Surface & coatings technology, 2001-02, Vol.136 (1), p.1-6
2001
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Journal of applied physics, 2001-09, Vol.90 (6), p.2672-2677
2001
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