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SEISAN KENKYU, 2023/08/01, Vol.75(3), pp.249-252
2023
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SEISAN KENKYU, 2022/08/01, Vol.74(3), pp.283-285
2022
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SEISAN KENKYU, 2021/08/01, Vol.73(4), pp.269-273
2021
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Sensors and actuators. A. Physical., 2012-04, Vol.177, p.105-109
2012
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生産研究, 2023/08/01, Vol.75(3), pp.249-252
2023
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Sensors and actuators. A. Physical., 2015-08, Vol.232, p.190-194
2015
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生産研究, 2022/08/01, Vol.74(3), pp.283-285
2022
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TRANSACTIONS OF THE JAPAN INSTITUTE OF ELECTRONICS PACKAGING, 2011, Vol.4 (1), p.1-5
2011
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生産研究, 2021/08/01, Vol.73(4), pp.269-273
2021
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Journal of the Society of Materials Science, Japan, 2007, Vol.56(10), pp.926-931
2007
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Journal of microelectromechanical systems, 2009-04, Vol.18 (2), p.316-321
2009
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IEEJ transactions on sensors and micromachines, 2012, Vol.132 (3), p.48-52
2012
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Sensors and actuators. A. Physical., 2004-03, Vol.111 (1), p.123-128
2004
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IEEJ transactions on sensors and micromachines, 2011, Vol.131 (6), p.230-234
2011
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IEEJ transactions on sensors and micromachines, 2010, Vol.130 (6), p.219-222
2010
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2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D), 2021, p.43-43
2021
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Zairyō, 2007, Vol.56 (10), p.926-931
2007
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