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Journal of microelectromechanical systems, 2001-12, Vol.10 (4), p.518-524
2001
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Journal of microelectromechanical systems, 1998-06, Vol.7 (2), p.201-206
1998
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Journal of microelectromechanical systems, 1999-09, Vol.8 (3), p.221-228
1999
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19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2006, p.86-89
2006
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The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05, 2005, Vol.2, p.1122-1125 Vol. 2
2005
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Proceedings of International Solid State Sensors and Actuators Conference (Transducers '97), 1997, Vol.2, p.1435-1438 vol.2
1997
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