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Journal of microelectromechanical systems, 2021-02, Vol.30 (1), p.156-164
2021
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2021-08, Vol.34 (3), p.241-247
2021
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Journal of micromechanics and microengineering, 2007-02, Vol.17 (2), p.213-219
2007
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2024 IEEE 36th International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2024, p.1-5
2024
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2020 IEEE 33rd International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2020, p.1-5
2020
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