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e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2024/07/04, Vol.22(3), pp.236-240
2024
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Applied physics letters, 2018-12, Vol.113 (26)
2018
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2019-10, Vol.456, p.12-15
2019
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e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2024/03/16, Vol.22(2), pp.157-161
2024
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-03, Vol.31 (2)
2013
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2014-03, Vol.32 (2)
2014
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2015-04, Vol.348, p.29-33
2015
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-03, Vol.31 (2), p.2
2013
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Japanese Journal of Applied Physics, 2016-06, Vol.55 (6S1), p.6-06GF10
2016
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Microelectronic engineering, 2012-09, Vol.97, p.144-146
2012
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e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2024/07/04, pp.2024-021
2024
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Japanese Journal of Applied Physics, 2011-06, Vol.50 (6), p.06GG14-06GG14-3
2011
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Japanese Journal of Applied Physics, 2005-07, Vol.44 (7S), p.5683
2005
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e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2024/03/16, pp.2024-009
2024
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Microelectronic engineering, 2002-08, Vol.63 (1), p.27-31
2002
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Microelectronic engineering, 2013-10, Vol.110, p.358-360
2013
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Japanese Journal of Applied Physics, 2015-06, Vol.54 (6S1), p.6
2015
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