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Journal of microelectromechanical systems, 2021-02, Vol.30 (1), p.156-164
2021
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2021-08, Vol.34 (3), p.241-247
2021
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Micromachines (Basel), 2014-09, Vol.5 (3), p.622-653
2014
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2022 IEEE 34th International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2022, p.1-4
2022
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IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2016-08, Vol.29 (3), p.201-208
2016
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