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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73, p.167-171
2004
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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73-74, p.167-171
2004
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Microelectronic engineering, 2000-06, Vol.53 (1), p.233-236
2000
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-11, Vol.21 (6), p.2975-2979
2003
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.3229-3232
2004
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-11, Vol.21 (6), p.2760-2764
2003
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.3242-3245
2004
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