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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1992-11, Vol.10 (6), p.2912-2916
1992
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-11, Vol.11 (6), p.2615-2620
1993
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1992-11, Vol.10 (6), p.2917-2921
1992
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