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Microelectronic engineering, 2022-03, Vol.257, p.111753, Article 111753
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2022




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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2021-03, Vol.39 (2)
2021
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2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021, p.795-798
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2022 IEEE International Conference on Flexible and Printable Sensors and Systems (FLEPS), 2022, p.1-4
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2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS), 2022, p.547-550
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2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS), 2022, p.473-476
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2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2021, p.928-931
2021
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Journal of physics. Conference series, 2019-11, Vol.1407 (1), p.12051
2019
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