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Complete plasma physics, plasma chemistry, and surface chemistry simulation of SiO2 and Si etching in CF4 plasmas
Microelectronic engineering, 1998-03, Vol.41-42, p.391-394
1998
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Etching of SiO2 and Si in fluorocarbon plasmas: A detailed surface model accounting for etching and deposition
Journal of applied physics, 2000-11, Vol.88 (10), p.5570-5584
2000
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SiO2 and Si etching in fluorocarbon plasmas: A detailed surface model coupled with a complete plasma and profile simulator
Microelectronic engineering, 1999-05, Vol.46 (1-4), p.311-314
1999
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Complete plasma physics, plasma chemistry, and surface chemistry simulation of SiO 2 and Si etching in CF 4 plasmas
Microelectronic engineering, 1998, Vol.41, p.391-394
1998
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SiO sub(2) and Si etching in fluorocarbon plasmas: A detailed surface model coupled with a complete plasma and profile simulator
Microelectronic engineering, 1999-01, Vol.46 (1), p.311-314
1999
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SiO 2 and Si etching in fluorocarbon plasmas: A detailed surface model coupled with a complete plasma and profile simulator
Microelectronic engineering, 1999, Vol.46 (1), p.311-314
1999
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SiO2 and Si etching in fluorocarbon plasmas : A detailed surface model coupled witha complete plasma and profile simulator
Microelectronic engineering, 1999, Vol.46 (1-4), p.311-314
1999
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Open Access
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GLP-1-induced renal vasodilation in rodents depends exclusively on the known GLP-1 receptor and is lost in prehypertensive rats
American journal of physiology. Renal physiology, 2020-06, Vol.318 (6), p.F1409-F1417
2020
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Open Access
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SARS-CoV-2 in first trimester pregnancy: a cohort study
Human reproduction (Oxford), 2021-01, Vol.36 (1), p.40-47
2021
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