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Micro and Nano Engineering, 2019-03, Vol.2, p.35-40
2019
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Microelectronics and reliability, 2020-07, Vol.110, p.113700, Article 113700
2020
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.173-179
2010
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Microelectronics and reliability, 2020-09, Vol.112, p.113825, Article 113825
2020
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Japanese Journal of Applied Physics, 2011-05, Vol.50 (5), p.05EB03-05EB03-5
2011
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-09, Vol.31 (5)
2013
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